Speciality Gas
특수가스는 매우 희귀하거나, 순도가 높은 가스로써 일반적으로 반도체,디스플레이 산업에서 주로 사용됩니다.
MS머트리얼즈는 CH3CL, HCL, DMA, TCS, STC, DCS 등을 안정적으로 공급하고 있습니다.
염화수소 냄새를 내는 무색의 액화가스 폭발성 물질은 아니나 아세토니트릴과 디페닐설폭사이드에는 폭발성 반응이 일어남. 알코올,아민,산화금속,과산화물 등에 격렬하게 반응하며 금속에는 부식성 반응을 일으킴
- 용도
- 화학기상, 에피텍셜 실리콘 증착 (CVD공정 / EPI)
- CYLINDERS
- 60L(60KG) / 210L(250KG)
자극성이 강한 냄새를 가진 무색 투명의 액화가스 부식성 물이나 습한 공기와 반응하며 염화수소와 폴리머릭 실옥산을 생성하며, 자연 점화될 수 있음 공기와 혼합물은 밀폐공간에서 가열시 폭괴을 일으킬 수 있음
- 용도
- 반도체 제조공정에서 질화막(SiN)증착 / Precursor 합성원료
- CYLINDERS
- 10L(9KG) / 40L(35KG) / 44L(41KG) / 440L(450KG) / 995L(900KG)
비린 생선냄새를 내는 무색의 투명한 수용성 액체 과산화물질과 반응하면 과산화물질들이 격력히 분해하여 폭발성 물질을 형성할 수 있음 산, 금속, 할로겐, 가연성 물질, 산화제등과 혼합 금지
- 용도
- 고무약품 원료(가황촉진제, 노화방지제) / 제지약품 및 수처리계 / Precursor 합성원료
- CYLINDERS
- 47L(23KG)
질식성 냄새를 내는 무색의 투명한 액화가스 물에 발열 반응하여 고 부식성 불화수소산과 규산을 생성
- 용도
- 테트라알콕시실란 및 실리카 섬유 광학 도파관의 제조 / 실리카 및 염화수소의 원료 / 합성고무 첨가제
- CYLINDERS
- 47L(30KG) / 60L(60KG)
자극성이 강한 냄새를 가진 무색의 액화가스 물과 격렬히 반응하여 열과 독성/부식성/가연성 기체를 방출 강한 부식성을 가짐
- 용도
- 에칭, LCD용 약품, 폴리실리콘 제조 / 금속표면 처리 및 수처리제 / 농약, 염료, 염화철 등 제조에 사용
- CYLINDERS
- 49L(25KG) / 900L(500KG)
에테르 냄새를 가진 무색투명의 액화가스 금속, 할로겐과 혼합 금지 열분해 시 포스겐, 산 할로겐 화합물, 탄소 산화물을 생성
- 용도
- 유기합성(부틸고무,실리콘수지, 메틸셀롤로오스 제조) / 추출제,저온용용제,냉동제(냉매) / 의약,농약,발포제,불연성필름
- CYLINDERS
- 1175L(940KG)
Heat Stability
Economic feasibility
Being eco-friendly
High remove rate
Low scratch, defect, dishing
품질경영시스템
안전보건경영시스템
환경경영시스템
기업부설연구소
